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基于MEMS技术的热梯度器件研究
:聂金泉
作者：
聂金泉
出版社：
中国水利水电出版社
出版时间：
2019
ISBN：
978-7-5170-7299-7
索书号：
TM38/2
分类号：
TM38
页数：
192页
价格：
59.00
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本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统, 设计了一种新型的梯度加热器, 由六个微加热芯片组成, 每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元, 采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸 (宽度和厚度) 对温度梯度和功耗的影响, 为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。
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微传感器 MEMS与智能器件
:(英) 朱利安 W.加德纳, 维贾伊 K.瓦拉丹, 奥萨马 O.阿瓦德卡里姆
作者：
(英) 朱利安 W.加德纳, 维贾伊 K.瓦拉丹, 奥萨马 O.阿瓦德卡里姆
出版社：
中国计量出版社
出版时间：
2007
ISBN：
978-7-5026-2557-3
索书号：
TM38/1
分类号：
TM38
页数：
477页
价格：
78.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书全面地介绍微传感器的制作工艺, 是一部论述微传感器、MEMS (微电子机械系统) 和智能传感器应用的专著。
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(英) 朱利安 W.加德纳, 维贾伊 K.瓦拉丹, 奥萨马 O.阿瓦德卡里姆
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