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微传感器 MEMS与智能器件/(英) 朱利安 W.加德纳, 维贾伊 K.瓦拉丹, 奥萨马 O.阿瓦德卡里姆

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    本书全面地介绍微传感器的制作工艺, 是一部论述微传感器、MEMS (微电子机械系统) 和智能传感器应用的专著。
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