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微传感器 MEMS与智能器件
:(英) 朱利安 W.加德纳, 维贾伊 K.瓦拉丹, 奥萨马 O.阿瓦德卡里姆
作者：
(英) 朱利安 W.加德纳, 维贾伊 K.瓦拉丹, 奥萨马 O.阿瓦德卡里姆
出版社：
中国计量出版社
出版时间：
2007
ISBN：
978-7-5026-2557-3
索书号：
TM38/1
分类号：
TM38
页数：
477页
价格：
78.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
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本书全面地介绍微传感器的制作工艺, 是一部论述微传感器、MEMS (微电子机械系统) 和智能传感器应用的专著。
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