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微机电系统设计及应用探究
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微机电系统设计及应用探究
:吴倩楠
作者：
吴倩楠
出版社：
吉林科学技术出版社
出版时间：
2021
ISBN：
978-7-5578-8047-7
索书号：
TM380.2/1
分类号：
TM380.2
页数：
177页
价格：
86.00
复本数：
在馆数：
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本书共5章, 内容包括: 微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。
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