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微机电系统设计及应用探究/吴倩楠

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  • 设置3:本书共5章, 内容包括: 微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。
  • 摘要:有书目 (第175-177页)
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    本书共5章, 内容包括: 微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。
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    TM380.2/1 00579948 0 综合文献室 入藏 中文图书
    TM380.2/1 00579947 0 综合文献室 入藏 中文图书
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