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半导体芯片制造系统建模与优化调度控制
:江志斌
作者：
江志斌
出版社：
上海交通大学出版社
出版时间：
2011
ISBN：
978-7-313-06315-1
索书号：
TN430.5/1
分类号：
TN430.5
页数：
398页
价格：
98.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书在总结国内外研究发展现状的基础上, 着重介绍作者多年来对半导体芯片制造系统建模、调度、产能规划等方面的研究成果。
详细信息
索书号
展开
芯片制造: 半导体工艺与设备
:陈, 陈铖颖, 张宏怡
作者：
陈, 陈铖颖, 张宏怡
出版社：
机械工业出版社
出版时间：
2022
ISBN：
978-7-111-68881-5
索书号：
TN430.5/2
分类号：
TN430.5
页数：
188页
价格：
69.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书着重介绍了半导体制造设备, 并从实践的角度出发, 选取了具有代表性的设备进行讲解。为了尽量能够让读者加深对各种设备用途的理解, 采用了一边阐述半导体制造工艺流程、一边说明各制造工艺中所使用的制造设备及其结构和原理的讲解方式, 力求使读者能够系统性地了解整个半导体制造的体系。
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文献类型
中文图书
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出版社
上海交通大学出版社
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机械工业出版社
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上海交通大学出版社
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机械工业出版社
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作者
江志斌
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陈, 陈铖颖, 张宏怡
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江志斌
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陈, 陈铖颖, 张宏怡
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