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芯片制造: 半导体工艺与设备
:陈, 陈铖颖, 张宏怡
作者：
陈, 陈铖颖, 张宏怡
出版社：
机械工业出版社
出版时间：
2022
ISBN：
978-7-111-68881-5
索书号：
TN430.5/2
分类号：
TN430.5
页数：
188页
价格：
69.00
复本数：
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累借次数：
本书着重介绍了半导体制造设备, 并从实践的角度出发, 选取了具有代表性的设备进行讲解。为了尽量能够让读者加深对各种设备用途的理解, 采用了一边阐述半导体制造工艺流程、一边说明各制造工艺中所使用的制造设备及其结构和原理的讲解方式, 力求使读者能够系统性地了解整个半导体制造的体系。
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机械工业出版社
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作者
陈, 陈铖颖, 张宏怡
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出版年
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